Materials issues in silicon integrated circuit processing - symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A
- Författare
- (Editors: Marc Wittmer, James Stimmell, Michael Strathman.)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 1986 | USA, Pittsburgh, Pa | xvii, 535 sidor. ill. |